实验室净化常用指南 拓奥环保工程有限公司

?拓奥无菌洁净室公司好品质

目前我国正处在产业升级换代阶段，在资金和政策的双重驱动下，***半导体光电企业逐步向中国转移，“缺芯少屏”现状正在有效改善。集成电路和光电显示技术升级，对生产环境的要求不断提高，产业巨额新增***带来静电消除及洁净室工程新需求。

无尘车间中排风管道的制作，应符合下列规定可燃***的排风风管的密封垫料固定材料应采用不燃材料；风管所用螺栓螺母垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应，并不产生电化学腐蚀的材料，或采用镀锌等防腐措施；镀锌钢板不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积白花镀层粉化等；风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距，不应大于100㎜；矩形风管法兰的角部位应设有螺孔。无尘车间的排风系统是组成无尘车间非常重要的系统，无尘车间排风系统有利于无尘车间的洁净处理和废气的排放，能够快速地清理试验现场，确保无尘车间持续保持无尘，洁净。

气无尘净化车间流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。净化工程乱流式(TurulntFlow空气由空调箱经风车间净化管与洁净室内之空气过滤器(HP进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板。

净化工程地面解决方案

薄涂型环氧树脂地板

特性：整体平整、附着力强、耐磨、耐酸碱，防潮、防霉、色彩艳丽，且易于清洗、施工简易工期短、成本经济。

适用范围：地板基础较好、无重载轻工业厂房、停车场、写字间、仓库、无尘墙壁、天花涂装、旧环氧树脂地板修补等。

施工步骤：

一、 素地处理：用磨机把原地面打磨干净、再除尘；

二、 底 涂：将配好的环氧树脂底漆用镘刀批刮在除尘干净的地面上；

三、 中 途：待底涂干化后，再将配好的中涂料用镘刀批刮在底涂上（根据地面基础情况可批刮多遍）

四、 面 涂：待中涂固化后，铲去突起的颗粒等杂物，用滚筒把配好的面涂料滚涂在中涂上。

环氧玻纤树脂地板

特性：能提高地板基体的强度与整体性，粘接力强，不易龟裂，防漏水，防腐性能***，不易老化，美观易清理。

适用范围：要求加强抗拉力的水泥地面或防强酸、强碱、化学溶剂、防腐蚀的一楼地面及排水沟等。

一、 素地处理：先磨去原地面上的杂物，使地面粗糙，再除尘；

二、 底 涂：将配好的底涂料用镘刀批刮在除尘干净的地面上；

三、 玻 纤 层：待底涂干化后，将玻纤布铺在地面上，再将树脂倒在玻纤布上，用镘刀批刮均匀；

四、 中 涂：待玻纤层树脂固化后，再用磨机磨去突起的毛刺，然后清扫、除尘，再将调配好的中涂料用镘刀平镘在玻纤层上；

五、 面 涂：待中涂完全固化后，用磨机把表面打磨粗糙，除尘、清扫，再把配好的面涂料用镘刀平镘在中涂上。

环氧树脂砂浆地板

特性：耐磨、耐冲击、硬度好；防化学溶剂及酸、碱、盐介质腐面；可做成表面防滑或哑光效果。

适用范围：要求地面耐磨性好，耐一定冲击性的电子电器、机械厂。可行驶1-2吨叉车，重手推车等，尤其适用于一楼及凹凸不平之地面。

一、 素地处理：用磨机把原地面整体打磨一遍，然后清扫、除尘；

二、 底 涂：将调配好的环氧底涂用镘刀批刮在除尘干净的地面上；

三、 砂 浆 层：待底涂固化后，将树脂、石英砂按比例混合均匀后，用镘刀批刮在底涂上（根据厚度不同，采用的石英砂目数不同）。

干净空间的温湿度首先是根据工艺要求来确定，但正在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的温馨度感。跟着空气干净度要求的进步，呈现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。详细工艺对温度的要求以后还要列举，但做为总的本则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度颠簸范畴的要求越来越小。

技术要求：净化车间技术对我国电子信息产业发展意义重大，因为它与产品的成品率有着直接关系。

例如正在大规模集成电路消费的光刻***工艺中，做为掩膜板质料的玻璃取硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。曲径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了线性膨胀，所以必需有±度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对卖得货将有污染，出格是怕钠的半导体车间，那种车间温度不宜超越25度，湿渡过高发生的问题更多。效率也大大提升，人工完成一个摄像头的生产需秒，如今用自动生产线只需秒—秒，效率提升达%—%，并且有进一步提升空间。

相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发作正在精细安装或电路中，就会引起各类事故。相对湿度正在50%时易生锈。